數控晶圓倒角機

數控晶圓倒角機采用數控的方式對晶圓的外周或者倒角端面進行高精度加工，具有自動對位功能，同時倒角機下面為一體鋼結構。有效地抑制了在倒角加工時砂輪的振動，可避免晶圓的缺損，機臺工作底座，龍門架采用采用花崗巖，穩定，永不變形，除去鑄鐵時效處理等產生殘余應力的可能。

　　數控晶圓倒角機為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓可加工T型、R型、RR型等多種邊形的晶圓，按照設定參數數控自動倒角加工，可加工參考邊型晶圓及圓片，自動進行粗研及精研加工，可加工方片等異形晶圓，可自動檢測晶圓直徑，配備晶圓清洗功能，配備晶圓干燥功能。